而未米(mi)的(de)0.18um}藝(yi)甚至0.13m工藝(yi)，所(suo)需要(yao)(yao)的(de)靶材(cai)純度將要(yao)(yao)求達到5甚至6N以(yi)上(shang)。銅與(yu)鋁相比較，銅具(ju)有更高(gao)的(de)抗電(dian)遷(qian)移能力及更低的(de)電(dian)阻(zu)率(lv)，能夠滿足！導體工藝(yi)在0.25um以(yi)下的(de)亞微米(mi)布線的(de)需要(yao)(yao)但卻帶米(mi)了其(qi)他的(de)問題：銅與(yu)有機介質(zhi)材(cai)料的(de)附著(zhu)強度低．并且容(rong)易發生反應，導致(zhi)在使用過程中(zhong)芯片(pian)的(de)銅互連線被(bei)腐蝕而斷路。

為了解決(jue)以上這(zhe)些問題，純銀零部件(jian)工藝，需要在銅與介(jie)質層之間(jian)設(she)置阻(zu)(zu)擋(dang)層。阻(zu)(zu)擋(dang)層材(cai)料(liao)一般(ban)采用(yong)高熔點(dian)、高電阻(zu)(zu)率的(de)(de)(de)金(jin)屬及其化(hua)合(he)物，因(yin)此要求阻(zu)(zu)擋(dang)層厚度小(xiao)于50nm，與銅及介(jie)質材(cai)料(liao)的(de)(de)(de)附(fu)著性(xing)能良好。銅互(hu)連和(he)鋁互(hu)連的(de)(de)(de)阻(zu)(zu)擋(dang)層材(cai)料(liao)是(shi)不同(tong)的(de)(de)(de)．需要研制(zhi)新(xin)的(de)(de)(de)靶(ba)材(cai)材(cai)料(liao)。銅互(hu)連的(de)(de)(de)阻(zu)(zu)擋(dang)層用(yong)靶(ba)材(cai)包括Ta、W、TaSi、WSi等．但是(shi)Ta、W都是(shi)難熔金(jin)屬．制(zhi)作(zuo)相對困難，如今正在研究鉬(mu)、鉻等的(de)(de)(de)臺金(jin)作(zuo)為替代材(cai)料(liao)。

在儲(chu)存技術(shu)方面，高密(mi)度(du)、大(da)(da)容(rong)量硬盤(pan)(pan)(pan)的(de)發(fa)(fa)展，吉林(lin)純(chun)(chun)銀(yin)零(ling)部(bu)件(jian)，需要(yao)大(da)(da)量的(de)巨磁(ci)(ci)阻薄膜材料(liao)，純(chun)(chun)銀(yin)零(ling)部(bu)件(jian)加工，CoF~Cu多層(ceng)復合膜是如今應(ying)用廣(guang)泛的(de)巨磁(ci)(ci)阻薄膜結構。磁(ci)(ci)光(guang)(guang)盤(pan)(pan)(pan)需要(yao)的(de)TbFeCo合金靶材還在進一步發(fa)(fa)展，用它制造(zao)的(de)磁(ci)(ci)光(guang)(guang)盤(pan)(pan)(pan)具(ju)有(you)存儲(chu)容(rong)量大(da)(da)，壽命長，可(ke)反復無接觸(chu)擦(ca)寫的(de)特點。如今開發(fa)(fa)出來的(de)磁(ci)(ci)光(guang)(guang)盤(pan)(pan)(pan)，具(ju)有(you)TbFeCo/Ta和(he)TbFeCo/Al的(de)層(ceng)復合膜結構，TbFeCo/AI結構的(de)Kerr旋轉(zhuan)角達到58，而TbFeCofFa則(ze)可(ke)以(yi)接近0.8。經(jing)過研究(jiu)發(fa)(fa)現，低磁(ci)(ci)導率(lv)的(de)靶材高交流局部(bu)放電電壓l抗電強度(du)。

所述泡沫彈性層(ceng)包(bao)含:至少(shao)三(san)(san)種(zhong)(zhong)(zhong)具(ju)有不同體(ti)積(ji)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)率的(de)導(dao)電(dian)(dian)(dian)性橡膠(jiao)，這(zhe)三(san)(san)種(zhong)(zhong)(zhong)導(dao)電(dian)(dian)(dian)性橡膠(jiao)的(de)體(ti)積(ji)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)率小于(yu)約I X ο14 Ω Cm ;至少(shao)一(yi)種(zhong)(zhong)(zhong)體(ti)積(ji)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)率為約IXlO14Qcm或更大(da)的(de)絕緣橡膠(jiao)；以及至少(shao)兩(liang)種(zhong)(zhong)(zhong)導(dao)電(dian)(dian)(dian)性填料。

所(suo)(suo)述(shu)絕(jue)緣橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)為(wei)(wei)(wei)選自由三元(yuan)(yuan)乙(yi)丙橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)、硅橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)和丁(ding)基(ji)橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)構成的(de)組中的(de)至少一種橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)。根據本發(fa)(fa)明(ming)的(de)第(di)三方面(mian)(mian)，純銀零部件(jian)報價，所(suo)(suo)述(shu)導電性橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)和所(suo)(suo)述(shu)絕(jue)緣橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)為(wei)(wei)(wei)氯(lv)醚(mi)橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)、丁(ding)苯橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)和三元(yuan)(yuan)乙(yi)丙橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)，或(huo)者為(wei)(wei)(wei)氯(lv)丁(ding)橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)、氯(lv)醚(mi)橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)、丁(ding)苯橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)和三元(yuan)(yuan)乙(yi)丙橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)。根據本發(fa)(fa)明(ming)的(de)第(di)四方面(mian)(mian)，所(suo)(suo)述(shu)絕(jue)緣橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)的(de)含量(liang)為(wei)(wei)(wei)橡(xiang)(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)成分總(zong)量(liang)的(de)約(yue)30質量(liang)％至約(yue)40質量(liang)％。