- 渦輪分子泵真空度
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真空度通常以帕斯卡（Pa）或托（Torr）表示。渦輪分子泵的使命，是將氣體分子從被抽容器中移除，從而將壓力降至高真空（HV，10^{-3}Pa~10^{-7}Pa）乃至超高真空（UHV，<10^{-7}Pa）范圍。這個“低氣壓”水平，是半導體鍍膜、粒子、表面科學分析等領域不可或缺的基礎。
渦輪分子泵的真空度是其能力的量化體現。它通過高速旋轉葉片對氣體分子進行的動量傳遞和分級壓縮，是實現高真空和超高真空的主力軍。理解其工作原理及影響極限真空度的因素（氣體負荷、密封、抽速、前級泵、清潔度），對于設計、操作和優化真空系統至關重要，是科技領域的關鍵鑰匙。
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