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潽拓光電:分子泵真空度
//zhhidc.cn/ask/8861132.html
  • 分子泵是真空(kong)(kong)技術領域的(de)關鍵設備,專(zhuan)門用于獲(huo)得(de)高真空(kong)(kong)(HV)和(he)超高真空(kong)(kong)(UHV)。其能力(li)在(zai)于能夠將系(xi)統(tong)內的(de)氣體壓力(li)(即真空(kong)(kong)度(du))降低到極(ji)低的(de)水平,通(tong)常在(zai)10^{-7}Pa到10^{-10}Pa甚至(zhi)更低的(de)范圍。

    分子(zi)泵通(tong)過高速旋轉(zhuan)的(de)(de)(de)(de)轉(zhuan)子(zi)與氣體分子(zi)的(de)(de)(de)(de)動(dong)量交換,實(shi)現氣體的(de)(de)(de)(de)定(ding)向抽運和(he)(he)壓(ya)縮(suo),是獲得高真(zhen)(zhen)空(kong)和(he)(he)超高真(zhen)(zhen)空(kong)的(de)(de)(de)(de)動(dong)力源。其(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)極(ji)限真(zhen)(zhen)空(kong)(低至(zhi)10^{-10}Pa)和(he)(he)穩定(ding)的(de)(de)(de)(de)抽氣速度(du),使其(qi)(qi)成為現代高科技產業(如(ru)半導體、精密儀器)和(he)(he)前沿科學研究中不(bu)可或缺的(de)(de)(de)(de)關鍵設備(bei),為各種需要在極(ji)低氣體密度(du)環境下進行的(de)(de)(de)(de)工藝和(he)(he)分析提供了(le)基礎保障。其(qi)(qi)性能(neng)直接決定(ding)了(le)系統所能(neng)達到的(de)(de)(de)(de)終真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)水平。

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