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幫個忙,維修Edwards二手分子泵要注意哪些細節?
//zhhidc.cn/ask/7358406.html
  • 當Edwards二手分子泵出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
  • 當Edwards二手分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。
  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
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