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愛德華分子泵控制器維修要注意什么內容? 感謝回答
//zhhidc.cn/ask/7355072.html
  • 當愛德華分子泵控制器M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當愛德華分子泵控制器未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。
  • 當愛德華分子泵控制器出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
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