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Edwards二手分子泵維修有哪些是需要注意的?拜托了幫個忙
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  • 當Edwards二手分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。
  • Edwards二手分子泵每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。
  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
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